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            白光干涉薄膜厚度測(cè)量?jī)xDelta
            白光干涉薄膜厚度測(cè)量?jī)xDelta
            白光干涉薄膜厚度測(cè)量?jī)xDelta小.jpg
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            產(chǎn)品特點(diǎn)

            快速、準(zhǔn)確、無(wú)損、靈活、易用、性價(jià)比高

            應(yīng)用案例

            應(yīng)用領(lǐng)域? ? ? ??? ? ? ? ? ? ? ??


            半導(dǎo)體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)、LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)?、LED (SiO2、光刻膠ITO等)、觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等)?、汽車(chē)(防霧層、Hard Coating DLC等)、醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等)

            技術(shù)參數(shù)

            型號(hào)

            Delta-VIS

            Delta-DUV

            Delta-NIR

            波長(zhǎng)范圍

            380-1050nm

            190-1100nm

            900-1700nm

            厚度范圍

            50nm-40um

            1nm-30um

            10um-3mm

            準(zhǔn)確度1

            2nm

            1nm

            10nm

            精度

            0.2nm

            0.2nm

            3nm

            入射角

            90°

            90°

            90°

            樣品材料

            透明或半透明

            透明或半透明

            透明或半透明

            測(cè)量模式

            反射/透射

            反射/透射

            反射/透射

            光斑尺寸2

            2mm

            2mm

            2mm

            是否能在線

            掃描選擇

            XY可選

            XY可選

            XY可選

            注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

            ? ? ? ?2.?可選微光斑附件。


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