等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固、液、氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。VPC100等離子表面處理系統就是通過利用等離子體的活性組分的性質來處理塑膠工件，金屬基工件，陶瓷、玻璃等工件表面，從而實現清潔、改性等目的。
產品特點
不銹鋼腔體，具有良好的耐用性
電極板上下可調，適應各種大小的樣品
觸摸按鍵，液晶顯示屏+雙浮子流量計精準控制，經濟實用
結構穩定，密封性好
一鍵啟停，人性化設計，簡單易學
采用13.56MH射頻電壓，完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能
無材料二次污染和環境污染，效率大大提高
應用領域
半導體行業
晶圓/基板的清洗，引框線表面活化，
芯片和基板間改變表面活性以減少分層。
橡膠、塑料
通過表面處理，在材料表面形成一個活性層，
這樣橡膠、塑料就能夠進行印刷、粘合、涂覆等操作。
汽車行業
等離子處理后，不僅可去除表面的難揮發性油污，
而且可大大提高骨架表面活性。如儀表板、控制面板前處理。
電子行業
使手機外殼、耳機聽筒、硬盤塑料件等
增加其表面活性，提高粘接效果。
醫療行業
等離子清洗機處理后的導尿管表面變滑，表面接觸角減小，
表面無有害基團產生。如靜脈輸液器針座的表面處理。
技術指標
型號 |
VPC100M |
VPC100A |
VPC30M |
VPC30A |
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腔體材質 |
316不銹鋼 |
6061鋁腔 |
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容積 |
10L |
2.4L |
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電極板 |
平板水浴電極 |
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電極 |
專用鋁電極，上下間距可調 |
專業鋁電極，間距固定 |
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單次處理時間 |
工藝不同，處理時間不同，表面活化改性5~10min內 |
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工作真空度 |
20~60Pa |
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真空泵極限壓力 |
0.5Pa（空載測試） |
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抽真空時間 |
≤ 40s |
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破真空時間 |
≤ 20s |
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等離子發生器 |
采用13.56MHz射頻電源，功率0~300W可調， 射頻電源和阻抗器模塊化設計 |
采用13.56MHz射頻電源，功率0~150W可調， 射頻電源和阻抗器模塊化設計 |
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供氣方式 |
電磁閥式 |
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流量計控制 |
雙浮子流量計 |
兩路MFC質量流量控制器 |
單浮子流量計 |
一路MFC質量流量控制器 |
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流量計調節范圍 |
0~300ml/min(可選) |
0~500ml/min(可選) |
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流量計精度 |
4% |
1% |
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操作方式 |
人工取放工件，一鍵啟動自動控制 |
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